曝光装置、曝光方法，以及使用该曝光装置和方法的器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03104107.8

申请日：

2003-02-13

公开(公告)号：

CN1438546A

公开(公告)日：

2003-08-27

发明(设计)人：

篠田健一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B300

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王以平

法律状态：

专利权的视为放弃

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-22	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃
2003-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2003-08-27	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法,以及使用该曝光装置和方法的器件制造方法 [P].

篠田健一郎 .

中国专利 :CN101241318A ,2008-08-13

[2]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

正田隆博 ;

金谷有步 ;

长山匡 ;

白石健一 .

中国专利 :CN102360167B ,2012-02-22

[3]

曝光方法和曝光装置、以及器件制造方法 [P].

白石健一 ;

星加隆一 ;

藤原朋春 .

中国专利 :CN101099224A ,2008-01-02

[4]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

正田隆博 ;

金谷有步 ;

长山匡 ;

白石健一 .

中国专利 :CN101510059B ,2009-08-19

[5]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

长坂博之 ;

马込伸贵 .

中国专利 :CN1723539B ,2006-01-18

[6]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

正田隆博 ;

金谷有步 ;

长山匡 ;

白石健一 .

中国专利 :CN1864244A ,2006-11-15

[7]

曝光装置、利用该曝光装置的器件制造系统和器件制造方法以及图案曝光方法 [P].

加藤正纪 ;

铃木智也 ;

鬼头义昭 ;

堀正和 ;

林田洋祐 ;

木内彻 .

中国专利 :CN106933066A ,2017-07-07

[8]

曝光装置、曝光方法以及器件制造方法 [P].

长坂博之 .

中国专利 :CN106873316A ,2017-06-20

[9]

曝光装置、曝光方法以及器件制造方法 [P].

长坂博之 .

中国专利 :CN101354540A ,2009-01-28

[10]

曝光装置、曝光方法以及器件制造方法 [P].

水谷刚之 .

中国专利 :CN100539019C ,2007-08-15

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