一种蒸镀单元及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620438841.5

申请日：

2016-05-13

公开(公告)号：

CN205774772U

公开(公告)日：

2016-12-07

发明(设计)人：

关立伟

申请人：

申请人地址：

017000 内蒙古自治区鄂尔多斯市东胜区装备制造基地

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀单元及蒸镀装置 [P].

李灏 ;

罗志忠 .

中国专利 :CN209722278U ,2019-12-03

[2]

蒸镀组件及蒸镀系统 [P].

王浩田 ;

陶敏 ;

杨小翠 .

中国专利 :CN208965014U ,2019-06-11

[3]

蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

王燕锋 ;

陆鹏 ;

刘成 ;

崔永鑫 .

中国专利 :CN208430219U ,2019-01-25

[4]

蒸镀托盘及蒸镀装置 [P].

陈锐 ;

张龙 ;

石建华 ;

范斌 .

中国专利 :CN217997308U ,2022-12-09

[5]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[6]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

马昆松 ;

梁作 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20

[7]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

邓博为 .

中国专利 :CN220468111U ,2024-02-09

[8]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

沈文涛 ;

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

张明照 .

中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03

[9]

蒸镀机构及蒸镀装置 [P].

焦鑫鹏 ;

刘志康 ;

伽龙 ;

吴明忠 .

中国专利 :CN222948452U ,2025-06-06

[10]

一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置 [P].

徐鹏 .

中国专利 :CN206692717U ,2017-12-01

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