一种单晶硅的腐蚀液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711278220.0

申请日：

2017-12-06

公开(公告)号：

CN108085748A

公开(公告)日：

2018-05-29

发明(设计)人：

王世榕

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市海安县城东镇晓星大道8号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-29	公开	公开
2019-01-18	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C30B 33/10 申请公布日:20180529

共 50 条

[1]

一种单晶硅的腐蚀溶液 [P].

朱眉清 .

中国专利 :CN109880625A ,2019-06-14

[2]

一种绿色单晶硅粗抛光液 [P].

贺兆波 ;

邹哲敏 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

罗月 ;

姜飞 ;

冯凯 ;

王书萍 .

中国专利 :CN117050661B ,2024-05-17

[3]

一种用于单晶硅绒面制备的腐蚀液及单晶硅绒面的制备方法 [P].

李海玲 ;

王文静 ;

赵雷 ;

周春兰 ;

刁宏伟 .

中国专利 :CN101570897A ,2009-11-04

[4]

一种利用新型复配单晶硅制绒腐蚀液制备具绒单晶硅的方法 [P].

景崤壁 ;

袁丹丹 ;

俞磊 .

中国专利 :CN105483834A ,2016-04-13

[5]

一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺 [P].

陆海斌 ;

石劲超 .

中国专利 :CN102115915B ,2011-07-06

[6]

一种制作单晶硅绒面的方法及腐蚀液 [P].

李建飞 ;

汪琴霞 ;

黄镇 ;

郭建东 ;

樊选东 .

中国专利 :CN102181935A ,2011-09-14

[7]

一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法 [P].

许颖 ;

勾宪芳 ;

励旭东 ;

宋爽 ;

张燕鹏 ;

谢芳吉 .

中国专利 :CN101634026A ,2010-01-27

[8]

一种单晶硅的刻蚀方法及刻蚀液 [P].

黄仕华 ;

金日升 ;

李兴达 .

中国专利 :CN110416074A ,2019-11-05

[9]

一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺 [P].

王新昌 ;

崔彩霞 ;

贾倩琳 .

中国专利 :CN120210963A ,2025-06-27

[10]

一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺 [P].

王新昌 ;

崔彩霞 ;

贾倩琳 .

中国专利 :CN120210963B ,2025-08-29

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