一种单晶硅的腐蚀溶液

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专利类型
发明
申请号
CN201910131283.6
申请日
2019-02-22
公开(公告)号
CN109880625A
公开(公告)日
2019-06-14
发明(设计)人
朱眉清
申请人
申请人地址
226600 江苏省南通市海安市开发区黄海大道
IPC主分类号
C09K1302
IPC分类号
代理机构
北京轻创知识产权代理有限公司 11212
代理人
谈杰
法律状态
发明专利申请公布后的撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅的腐蚀液 [P]. 
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[6]
一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺 [P]. 
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一种单晶硅样品腐蚀装置 [P]. 
王新昌 ;
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[9]
一种单晶硅样品腐蚀装置 [P]. 
王新昌 ;
崔彩霞 ;
贾倩琳 .
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[10]
一种制作单晶硅绒面的方法及腐蚀液 [P]. 
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汪琴霞 ;
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