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一种单晶硅腐蚀清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022724036.8
申请日：
2020-11-23
公开(公告)号：
CN213591264U
公开(公告)日：
2021-07-02
发明(设计)人：
肖亮
申请人：
申请人地址：
710061 陕西省西安市雁塔区朱雀大街202号7号楼719号
IPC主分类号：
B08B310
IPC分类号：
B08B1300
C30B3310
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-02 | 授权 | 授权 |