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一种单晶硅高效清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021719376.5
申请日：
2020-08-17
公开(公告)号：
CN213124383U
公开(公告)日：
2021-05-04
发明(设计)人：
胡安东
申请人：
申请人地址：
225600 江苏省扬州市高邮市天山镇工业集中区
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 授权 | 授权 |