一种单晶硅原料高效清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810674738.4

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN110639881A

公开(公告)日：

2020-01-03

发明(设计)人：

陈春成戚建静

申请人：

申请人地址：

225600 江苏省扬州市高邮市送桥镇天山工业集中区

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B310 B08B1300 A61L210 F26B2306 H01L2102

代理机构：

北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427

代理人：

陈娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-03	公开	公开
2021-12-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B08B 3/08 申请公布日:20200103

共 50 条

[1]

一种单晶硅原料高效清洗装置 [P].

陈春成 ;

戚建静 .

中国专利 :CN208495170U ,2019-02-15

[2]

一种单晶硅高效清洗装置 [P].

胡安东 .

中国专利 :CN213124383U ,2021-05-04

[3]

单晶硅棒清洗装置 [P].

白林 ;

王新正 ;

陆沁 .

中国专利 :CN215613635U ,2022-01-25

[4]

一种单晶硅清洗装置 [P].

张忠安 .

中国专利 :CN204315530U ,2015-05-06

[5]

单晶硅的清洗装置 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204672614U ,2015-09-30

[6]

一种单晶硅腐蚀清洗装置 [P].

肖亮 .

中国专利 :CN213591264U ,2021-07-02

[7]

一种单晶硅切片清洗装置 [P].

张超 ;

傅昭林 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN213670835U ,2021-07-13

[8]

一种单晶硅原料的清洗方法 [P].

程前荣 ;

黄贤横 ;

黄修云 .

中国专利 :CN102294331A ,2011-12-28

[9]

一种单晶硅棒自动清洗装置 [P].

张海明 ;

杨旭洲 ;

张昊铭 ;

危晨 ;

郭俊文 .

中国专利 :CN218167929U ,2022-12-30

[10]

一种单晶硅生产用过滤清洗装置 [P].

陈跃骅 .

中国专利 :CN207628770U ,2018-07-20

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