一种智能温控式单晶硅清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420780503.0

申请日：

2014-12-12

公开(公告)号：

CN204307871U

公开(公告)日：

2015-05-06

发明(设计)人：

张忠安

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市安义县凤凰山工业园区

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

代理机构：

贵阳天圣知识产权代理有限公司 52107

代理人：

杜胜雄

法律状态：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717710344 IPC(主分类):B08B 3/08 专利申请号:2014207805030 专利号:ZL2014207805030 合同备案号:2015360000060 让与人:江西豪安能源科技有限公司受让人:江西申山能源科技有限公司实用新型名称:一种智能温控式单晶硅清洗装置申请日:20141212 授权公告日:20150506 许可种类:独占许可备案日期:20150601
2015-05-06	授权	授权
2017-02-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101700973936 IPC(主分类):B08B 3/08 专利号:ZL2014207805030 申请日:20141212 授权公告日:20150506 终止日期:20151212

共 50 条

[1]

一种单晶硅清洗装置 [P].

张忠安 .

中国专利 :CN204315530U ,2015-05-06

[2]

单晶硅的清洗装置 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204672614U ,2015-09-30

[3]

单晶硅棒清洗装置 [P].

白林 ;

王新正 ;

陆沁 .

中国专利 :CN215613635U ,2022-01-25

[4]

一种单晶硅腐蚀清洗装置 [P].

肖亮 .

中国专利 :CN213591264U ,2021-07-02

[5]

一种单晶硅切片清洗装置 [P].

张超 ;

傅昭林 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN213670835U ,2021-07-13

[6]

一种单晶硅高效清洗装置 [P].

胡安东 .

中国专利 :CN213124383U ,2021-05-04

[7]

一种单晶硅棒自动清洗装置 [P].

张海明 ;

杨旭洲 ;

张昊铭 ;

危晨 ;

郭俊文 .

中国专利 :CN218167929U ,2022-12-30

[8]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

周伟南 .

中国专利 :CN202034357U ,2011-11-09

[9]

单晶硅切片中的清洗装置 [P].

殷国庆 .

中国专利 :CN201862609U ,2011-06-15

[10]

一种单晶硅切片生产用清洗装置 [P].

曹曙光 .

中国专利 :CN207563318U ,2018-07-03

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