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单晶硅切片中的清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020557161.8
申请日：
2010-10-09
公开(公告)号：
CN201862609U
公开(公告)日：
2011-06-15
发明(设计)人：
殷国庆
申请人：
申请人地址：
213200 江苏省金坛市经济开发区华城路266号
IPC主分类号：
B08B1300
IPC分类号：
H01L2100
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-15 | 授权 | 授权 |
| 2013-12-04 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101547321969 IPC(主分类):B08B 13/00 专利号:ZL2010205571618 申请日:20101009 授权公告日:20110615 终止日期:20121009 |