共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2002-08-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2005-07-13 | 授权 | 授权 |
| 2003-01-08 | 公开 | 公开 |
| 2003-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2014-07-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101584052148 IPC(主分类):H01L 27/10 专利号:ZL021222622 申请日:20020604 授权公告日:20050713 终止日期:20130604 |