基板支撑单元及包含该基板支撑单元的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410714558.6

申请日：

2014-11-28

公开(公告)号：

CN104681387A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

金炯俊卢载旻

申请人：

申请人地址：

韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3720 H01L21683 H01L2167

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-20	授权	授权
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615752228 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014107145586 申请日:20141128
2015-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

基板支撑单元以及具有该支撑单元的基板处理装置 [P].

曹尚范 ;

郑炳晋 ;

朴明河 ;

朴重现 .

中国专利 :CN101796898B ,2010-08-04

[2]

基板支撑单元、基板处理装置及制造基板支撑单元的方法 [P].

李东根 ;

朱庆镇 ;

诸成泰 ;

梁日光 .

中国专利 :CN101933121A ,2010-12-29

[3]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

:CN121137562A ,2025-12-16

[4]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12

[5]

基板支撑单元、基板处理装置、及制造基板支撑单元的方法 [P].

金海元 ;

赵星吉 .

中国专利 :CN103733328A ,2014-04-16

[6]

支撑单元及包括支撑单元的基板处理装置 [P].

梁涌洙 .

韩国专利 :CN118266069A ,2024-06-28

[7]

基板处理设备及基板支撑单元 [P].

金堤镐 ;

赵宰焕 ;

郑泰淑 .

中国专利 :CN113921362A ,2022-01-11

[8]

基板处理设备及基板支撑单元 [P].

金堤镐 ;

赵宰焕 ;

郑泰淑 .

韩国专利 :CN113921362B ,2025-04-18

[9]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理设备 [P].

沈真宇 ;

金炯俊 .

中国专利 :CN108878247B ,2018-11-23

[10]

支撑单元及包括该单元的基板处理装置 [P].

李元行 .

中国专利 :CN104078387A ,2014-10-01

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