支撑单元及包括该单元的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410122654.1

申请日：

2014-03-28

公开(公告)号：

CN104078387A

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

李元行

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687 H01L213065

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

舒艳君;李洋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587976611 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014101226541 申请日:20140328
2017-10-31	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20141001
2014-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

:CN121137562A ,2025-12-16

[2]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12

[3]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

尹嫝燮 ;

李映一 ;

崔重奉 .

中国专利 :CN113972151A ,2022-01-25

[4]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

尹嫝燮 ;

金喆求 ;

崔重奉 ;

宋修汉 .

中国专利 :CN114597158A ,2022-06-07

[5]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

李承杓 ;

金炯俊 .

中国专利 :CN109801858A ,2019-05-24

[6]

支撑单元及包括支撑单元的基板处理装置 [P].

梁涌洙 .

韩国专利 :CN118266069A ,2024-06-28

[7]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理设备 [P].

沈真宇 ;

金炯俊 .

中国专利 :CN108878247B ,2018-11-23

[8]

基板支撑单元及包含该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

金炯俊 ;

卢载旻 .

中国专利 :CN104681387A ,2015-06-03

[9]

支撑单元以及包括该支撑单元的烘烤装置和基板处理装置 [P].

李泰勋 ;

李宗根 ;

严基象 .

中国专利 :CN115527912A ,2022-12-27

[10]

支承单元和包括该支承单元的基板处理装置 [P].

孙亨圭 ;

韩有东 ;

金铉珪 ;

金善玉 .

韩国专利 :CN112185793B ,2025-02-11

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