共 50 条
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支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110837199.3
申请日：
2021-07-23
公开(公告)号：
CN113972151A
公开(公告)日：
2022-01-25
发明(设计)人：
尹嫝燮
李映一
崔重奉
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
杨黎峰;石宝忠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-25 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210723 |