基板支撑单元，热处理单元和包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711171053.X

申请日：

2017-11-22

公开(公告)号：

CN108122817B

公开(公告)日：

2018-06-05

发明(设计)人：

赵敏祐崔哲珉朴相旭姜湾圭

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

李波;但提提

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20171122
2018-06-05	公开	公开
2022-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

:CN121137562A ,2025-12-16

[2]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12

[3]

支撑单元和包括其的基板处理装置 [P].

金泳俊 ;

李元行 .

中国专利 :CN105655222A ,2016-06-08

[4]

支撑单元以及包括其的基板处理装置 [P].

李元行 ;

河刚来 .

中国专利 :CN104600019A ,2015-05-06

[5]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

尹嫝燮 ;

李映一 ;

崔重奉 .

中国专利 :CN113972151A ,2022-01-25

[6]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

尹嫝燮 ;

金喆求 ;

崔重奉 ;

宋修汉 .

中国专利 :CN114597158A ,2022-06-07

[7]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

李承杓 ;

金炯俊 .

中国专利 :CN109801858A ,2019-05-24

[8]

支撑单元及包括支撑单元的基板处理装置 [P].

梁涌洙 .

韩国专利 :CN118266069A ,2024-06-28

[9]

传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P].

李知桓 .

韩国专利 :CN112786490B ,2024-07-02

[10]

传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P].

李知桓 .

中国专利 :CN112786490A ,2021-05-11

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