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传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011239668.3
申请日：
2020-11-09
公开(公告)号：
CN112786490A
公开(公告)日：
2021-05-11
发明(设计)人：
李知桓
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜;石宝忠
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-17 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201109
2021-05-11 公开 公开
共 50 条
[1]
传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
李知桓 .
韩国专利 :CN112786490B ,2024-07-02
[2]
传送单元和包括该传送单元的基板处理装置 [P]. 
裵文炯 ;
朴珉贞 .
韩国专利 :CN112420555B ,2024-09-20
[3]
传送单元和包括该传送单元的基板处理装置 [P]. 
裵文炯 ;
朴珉贞 .
中国专利 :CN112420555A ,2021-02-26
[4]
传送单元及包括该传送单元的基板处理装置 [P]. 
金炯俊 .
中国专利 :CN110504202A ,2019-11-26
[5]
基板传送单元及包括该其的基板处理装置 [P]. 
洪南基 ;
李殷珠 ;
金基勳 .
韩国专利 :CN118016577A ,2024-05-10
[6]
基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P]. 
李承桓 ;
权学龙 ;
金钟随 ;
金成培 ;
朴柱赫 .
:CN121137562A ,2025-12-16
[7]
基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P]. 
李承桓 ;
权学龙 ;
金钟随 ;
金成培 ;
朴柱赫 .
中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12
[8]
传送基板的单元和方法及处理基板的装置和方法 [P]. 
朴东锡 ;
偰相镐 .
中国专利 :CN101299415B ,2008-11-05
[9]
基板支撑单元，热处理单元和包括其的基板处理装置 [P]. 
赵敏祐 ;
崔哲珉 ;
朴相旭 ;
姜湾圭 .
中国专利 :CN108122817B ,2018-06-05
[10]
基板支撑单元、包括基板支撑单元的用于处理基板的设备以及环传送方法 [P]. 
申载源 .
韩国专利 :CN118016583A ,2024-05-10
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