传送基板的单元和方法及处理基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710151297.1

申请日：

2007-09-18

公开(公告)号：

CN101299415B

公开(公告)日：

2008-11-05

发明(设计)人：

朴东锡偰相镐

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道华城市石隅洞2-12

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-11-05	公开	公开
2008-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P].

李知桓 .

中国专利 :CN112786490A ,2021-05-11

[2]

传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P].

李知桓 .

韩国专利 :CN112786490B ,2024-07-02

[3]

处理基板的装置和方法 [P].

张健 .

中国专利 :CN104347453A ,2015-02-11

[4]

传送单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

李暎熏 ;

李载明 .

中国专利 :CN107437513B ,2017-12-05

[5]

传送单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

李暎熏 ;

李载明 .

韩国专利 :CN112885730B ,2024-04-09

[6]

传送单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

李暎熏 ;

李载明 .

中国专利 :CN112885730A ,2021-06-01

[7]

基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统 [P].

卢希锡 ;

崔相壹 ;

全成基 ;

赵俸秀 .

中国专利 :CN113053797A ,2021-06-29

[8]

基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统 [P].

卢希锡 ;

崔相壹 ;

全成基 ;

赵俸秀 .

韩国专利 :CN113053797B ,2025-07-11

[9]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

丁晟宰 ;

张普舜 .

韩国专利 :CN118692963A ,2024-09-24

[10]

基板传送装置和基板传送装置的组装方法 [P].

朴庸硕 ;

朴哲岐 .

中国专利 :CN112824263B ,2021-05-21

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