传送单元及用于处理基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110076016.0

申请日：

2017-05-27

公开(公告)号：

CN112885730A

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

李暎熏李载明

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167 H01L21677 H01L21687 H01L2102 B08B304 B08B308 B08B314

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

杨黎峰;姜香丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20170527
2021-06-01	公开	公开

共 50 条

[1]

传送单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

李暎熏 ;

李载明 .

中国专利 :CN107437513B ,2017-12-05

[2]

传送单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

李暎熏 ;

李载明 .

韩国专利 :CN112885730B ,2024-04-09

[3]

传送基板的单元和方法及处理基板的装置和方法 [P].

朴东锡 ;

偰相镐 .

中国专利 :CN101299415B ,2008-11-05

[4]

用于处理基板的装置和方法 [P].

李孝元 ;

李暎熏 .

中国专利 :CN107437520A ,2017-12-05

[5]

液体供应单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

梁承太 ;

崔气勋 ;

郑富荣 ;

朴贵秀 .

韩国专利 :CN113130350B ,2024-12-10

[6]

液体供应单元及用于处理基板的装置和方法 [P].

梁承太 ;

崔气勋 ;

郑富荣 ;

朴贵秀 .

中国专利 :CN113130350A ,2021-07-16

[7]

缓存单元及用于用该单元处理基板的装置和方法 [P].

孙德铉 ;

李相起 .

中国专利 :CN110858559A ,2020-03-03

[8]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

丁晟宰 ;

张普舜 .

韩国专利 :CN118692963A ,2024-09-24

[9]

用于供应流体的单元及用该单元处理基板的装置和方法 [P].

金俙焕 ;

李暎熏 .

中国专利 :CN107437518A ,2017-12-05

[10]

基板固定单元、基板处理装置和方法 [P].

李德荣 .

中国专利 :CN114220760A ,2022-03-22

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