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缓存单元及用于用该单元处理基板的装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910782611.9
申请日：
2019-08-23
公开(公告)号：
CN110858559A
公开(公告)日：
2020-03-03
发明(设计)人：
孙德铉
李相起
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2167
H01J3732
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-03 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20190823 |