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冷却单元、使用该冷却单元的基板处理装置及方法

被引：0
申请号：
CN202111152937.7
申请日：
2021-09-29
公开(公告)号：
CN114334715A
公开(公告)日：
2022-04-12
发明(设计)人：
金俊镐 李相勋 徐钟锡
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜;石宝忠
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210929
2022-04-12 公开 公开
共 50 条
[1]
冷却单元、使用该冷却单元的基板处理装置及方法 [P]. 
金俊镐 ;
李相勋 ;
徐钟锡 .
韩国专利 :CN114334715B ,2025-10-28
[2]
冷却单元和包括该冷却单元的基板处理装置 [P]. 
方济午 .
中国专利 :CN112242327A ,2021-01-19
[3]
冷却单元和包括该冷却单元的基板处理装置 [P]. 
方济午 .
韩国专利 :CN112242327B ,2025-01-03
[4]
基板冷却单元、基板处理装置、半导体器件的制造方法及程序 [P]. 
齐藤择弥 ;
高桥哲 ;
桧山真 .
中国专利 :CN113966547A ,2022-01-21
[5]
基板冷却单元、基板处理装置、半导体器件的制造方法、记录介质及基板处理方法 [P]. 
齐藤择弥 ;
高桥哲 ;
桧山真 .
日本专利 :CN113966547B ,2025-08-22
[6]
支撑单元及包括该单元的基板处理装置 [P]. 
李元行 .
中国专利 :CN104078387A ,2014-10-01
[7]
基板处理液回收单元及具有该单元的基板处理装置 [P]. 
崔叡珍 ;
方炳善 ;
姜兑昊 ;
文钟元 .
中国专利 :CN114558821A ,2022-05-31
[8]
基板支撑单元及包含该基板支撑单元的基板处理装置 [P]. 
金炯俊 ;
卢载旻 .
中国专利 :CN104681387A ,2015-06-03
[9]
容纳单元及包括该容纳单元的基板处理装置 [P]. 
李硕徽 .
中国专利 :CN104979240A ,2015-10-14
[10]
维护单元及具有该维护单元的基板处理装置 [P]. 
朴兑晛 .
中国专利 :CN114649236A ,2022-06-21
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