共 50 条
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传送单元及包括该传送单元的基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910414145.9
申请日：
2019-05-17
公开(公告)号：
CN110504202A
公开(公告)日：
2019-11-26
发明(设计)人：
金炯俊
申请人：
申请人地址：
韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
H01L21687
H01J3732
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
侯志源
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-26 | 公开 | 公开 |
| 2019-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190517 |