磁力驱动构件、基板传送单元及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810172081.8

申请日：

2008-10-29

公开(公告)号：

CN101436561A

公开(公告)日：

2009-05-20

发明(设计)人：

林宪燮金炯拜姜一圭柳承洙

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B65G4907 B65G4906

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司

代理人：

李雪春;武玉琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-20	公开	公开
2009-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-07-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101114498436 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2008101720818 公开日:20090520

共 50 条

[1]

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P].

大川显 ;

锅岛健 .

中国专利 :CN112750746A ,2021-05-04

[2]

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P].

大川显 ;

锅岛健 .

日本专利 :CN112750746B ,2024-01-12

[3]

传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P].

李知桓 .

中国专利 :CN112786490A ,2021-05-11

[4]

传送单元、包括该传送单元的基板处理装置和基板处理方法 [P].

李知桓 .

韩国专利 :CN112786490B ,2024-07-02

[5]

基板处理单元及基板处理装置 [P].

胜冈诚司 ;

关本雅彦 ;

渡边辉行 ;

加藤亮 ;

横山俊夫 ;

铃木宪一 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN1946486A ,2007-04-11

[6]

传送单元及包括该传送单元的基板处理装置 [P].

金炯俊 .

中国专利 :CN110504202A ,2019-11-26

[7]

基板传送单元及包括该其的基板处理装置 [P].

洪南基 ;

李殷珠 ;

金基勳 .

韩国专利 :CN118016577A ,2024-05-10

[8]

基板处理装置及基板保持构件 [P].

西尾勤 .

中国专利 :CN104979239B ,2015-10-14

[9]

基板传送装置、基板处理装置和基板处理方法 [P].

小林义之 ;

酒井伊都子 ;

大岩德久 .

中国专利 :CN101047140A ,2007-10-03

[10]

基板保持构件、基板处理装置、基板处理方法 [P].

小暮公男 .

中国专利 :CN102150251A ,2011-08-10

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