支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811360555.1

申请日：

2018-11-15

公开(公告)号：

CN109801858A

公开(公告)日：

2019-05-24

发明(设计)人：

李承杓金炯俊

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683 H01L21687

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

杨黎峰;钟锦舜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181115
2019-05-24	公开	公开

共 50 条

[1]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

尹嫝燮 ;

李映一 ;

崔重奉 .

中国专利 :CN113972151A ,2022-01-25

[2]

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置 [P].

尹嫝燮 ;

金喆求 ;

崔重奉 ;

宋修汉 .

中国专利 :CN114597158A ,2022-06-07

[3]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

:CN121137562A ,2025-12-16

[4]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12

[5]

支撑单元以及包括该支撑单元的烘烤装置和基板处理装置 [P].

李泰勋 ;

李宗根 ;

严基象 .

中国专利 :CN115527912A ,2022-12-27

[6]

支撑单元及包括该单元的基板处理装置 [P].

李元行 .

中国专利 :CN104078387A ,2014-10-01

[7]

支撑单元及包括支撑单元的基板处理装置 [P].

梁涌洙 .

韩国专利 :CN118266069A ,2024-06-28

[8]

基板支撑单元以及具有该支撑单元的基板处理装置 [P].

曹尚范 ;

郑炳晋 ;

朴明河 ;

朴重现 .

中国专利 :CN101796898B ,2010-08-04

[9]

基板支撑单元及包含该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

金炯俊 ;

卢载旻 .

中国专利 :CN104681387A ,2015-06-03

[10]

基板支撑单元，热处理单元和包括其的基板处理装置 [P].

赵敏祐 ;

崔哲珉 ;

朴相旭 ;

姜湾圭 .

中国专利 :CN108122817B ,2018-06-05

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