MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510288750.8
申请日
2015-05-29
公开(公告)号
CN104891418A
公开(公告)日
2015-09-09
发明(设计)人
郑国光
申请人
申请人地址
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
IPC主分类号
B81B300
IPC分类号
B81B700 B81B702 G01L912
代理机构
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人
马佑平;王昭智
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204675826U ,2015-09-30
[2]
MEMS压力传感器的封装结构及MEMS压力传感器 [P]. 
王小平 ;
曹万 .
中国专利 :CN214010597U ,2021-08-20
[3]
MEMS压力传感器 [P]. 
湛邵斌 ;
霍红颖 ;
胡涛 ;
高月芳 ;
王新中 .
中国专利 :CN206876312U ,2018-01-12
[4]
MEMS压力传感器 [P]. 
湛邵斌 ;
霍红颖 ;
胡涛 ;
高月芳 ;
王新中 .
中国专利 :CN107144378A ,2017-09-08
[5]
MEMS压力传感器 [P]. 
张睿 ;
康婷 .
中国专利 :CN105203233A ,2015-12-30
[6]
MEMS压力传感器 [P]. 
焦祥锟 ;
孙斌燕 ;
李晓波 ;
范泽龙 ;
焦振楠 .
中国专利 :CN117804650A ,2024-04-02
[7]
MEMS压力传感器 [P]. 
马菲积斯·斯维伦 ;
扬·雅各布·科宁 ;
赫尔曼·西恩拉德·威廉·贝吉林克 .
中国专利 :CN102032970A ,2011-04-27
[8]
MEMS压力传感器 [P]. 
桑新文 ;
高洪连 ;
盛云 .
中国专利 :CN111928981A ,2020-11-13
[9]
MEMS压力传感器 [P]. 
桑新文 ;
高洪连 ;
盛云 .
中国专利 :CN212320965U ,2021-01-08
[10]
MEMS压力传感器 [P]. 
焦祥锟 ;
孙斌燕 ;
李晓波 ;
范泽龙 ;
焦振楠 .
中国专利 :CN117804651A ,2024-04-02