阀组件和真空室组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520295458.4

申请日：

2015-05-08

公开(公告)号：

CN204768573U

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

约亨·克劳瑟米夏埃尔·霍夫曼

申请人：

申请人地址：

德国德累斯顿

IPC主分类号：

B01J303

IPC分类号：

C23C1456 F16K1502

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

刘明海;杨生平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	授权	授权
2018-12-11	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B01J 3/03 登记生效日:20181122 变更事项:专利权人变更前权利人:冯·阿登纳有限公司变更后权利人:冯·阿登纳资产股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:德国德累斯顿变更后权利人:德国德累斯顿

共 50 条

[1]

真空室组件 [P].

约亨·克劳瑟 ;

斯蒂芬·莱曼 .

中国专利 :CN204690099U ,2015-10-07

[2]

用于真空室、例如衬底处理系统的真空室的狭缝阀组件 [P].

W·P·J·克拉斯恩斯 ;

S·F·德弗里斯 ;

R·M·D·R·多桑托斯 ;

D·A·谢斯塔科夫 ;

T·A·R·凡埃姆派尔 .

:CN119948282A ,2025-05-06

[3]

铰链组件及真空室 [P].

钱政羽 ;

王冬冬 ;

钱涛 .

中国专利 :CN221942198U ,2024-11-01

[4]

瓶组件和阀组件 [P].

J·罗 ;

J·罗巴克 ;

M·奥布赖恩 ;

R·帕克 ;

P·安格斯 .

英国专利 :CN113925782B ,2024-05-07

[5]

瓶组件和阀组件 [P].

J·罗 ;

J·罗巴克 ;

M·奥布赖恩 ;

R·帕克 ;

P·安格斯 .

中国专利 :CN113925782A ,2022-01-14

[6]

密封组件和阀组件 [P].

H.弗里斯 ;

R.吕德斯 ;

U.G.比尔巴尔 ;

A.O.克勒 .

中国专利 :CN109563938A ,2019-04-02

[7]

瓶组件和阀组件 [P].

J·罗 ;

J·罗巴克 ;

M·奥布赖恩 ;

R·帕克 ;

P·安格斯 .

中国专利 :CN109069349B ,2018-12-21

[8]

阀和阀组件 [P].

C·梅林斯 ;

E·肖 ;

A·杨克 .

中国专利 :CN111492164B ,2020-08-04

[9]

阀和阀组件 [P].

M·A·米赫涅维茨 ;

N·A·奎因 ;

T·埃里森 ;

J·迈尔斯 .

中国专利 :CN207454858U ,2018-06-05

[10]

阀组件和用于阀组件的阀笼 [P].

T·N·加布里 ;

S·E·杰尔肯 ;

K·N·巴特尔斯 ;

J·A·曼 ;

L·马丁 .

中国专利 :CN115560090A ,2023-01-03

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