用于真空室、例如衬底处理系统的真空室的狭缝阀组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380069032.4

申请日：

2023-10-02

公开(公告)号：

CN119948282A

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

W·P·J·克拉斯恩斯 S·F·德弗里斯 R·M·D·R·多桑托斯 D·A·谢斯塔科夫 T·A·R·凡埃姆派尔

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰

IPC主分类号：

F16K3/02

IPC分类号：

F16K27/04 F16K51/02 H01L21/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

胡良均

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	公开	公开
2025-10-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F16K 3/02申请日:20231002

共 50 条

[1]

用于真空室模块的狭缝阀 [P].

R·W·布莱克 .

中国专利 :CN102374295A ,2012-03-14

[2]

衬底处理系统的室清洁 [P].

王栋 ;

康虎 ;

郑慧峰 ;

梁德富 ;

约瑟夫·林德赛·沃马克 ;

李明 ;

孟昕 ;

罗希特·欧德 .

美国专利 :CN120981600A ,2025-11-18

[3]

衬底处理系统和用于衬底处理系统的气体充气室装置 [P].

汤姆·坎普 ;

亚瑟·萨托 ;

亚历克斯·帕特森 .

中国专利 :CN110060914B ,2019-07-26

[4]

真空腔室的狭缝阀装置 [P].

官大发 .

中国专利 :CN210135234U ,2020-03-10

[5]

用于衬底处理系统的包含蒸气室的基座 [P].

迈克尔·维蒂格 .

美国专利 :CN120366746A ,2025-07-25

[6]

用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统 [P].

拉尔夫·林登贝格 ;

马丁·凯梅尔 ;

布里希·拉贾 .

中国专利 :CN111279107A ,2020-06-12

[7]

用于衬底处理系统的包含蒸气室的基座 [P].

迈克尔·维蒂格 .

中国专利 :CN113166941A ,2021-07-23

[8]

用于真空密封的锁定阀、真空腔室以及真空处理系统 [P].

托拜厄斯·林-达·夏 ;

马丁·凯梅尔 ;

约阿希姆·松嫩申 .

中国专利 :CN109844383A ,2019-06-04

[9]

用于衬底处理系统的节流阀 [P].

安德鲁·波尔斯 .

美国专利 :CN119256176A ,2025-01-03

[10]

衬底处理系统、用于衬底处理系统的喷头和喷头组件 [P].

伊莱·乔恩 ;

丹尼尔·博特赖特 ;

菲利普·陈 ;

德博托什·波德达尔 ;

凯尔·瓦特·哈特 ;

道格拉斯·沃尔特·阿格纽 ;

卡什亚普·苏布拉马尼亚 .

中国专利 :CN218146933U ,2022-12-27

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