用于衬底处理系统的包含蒸气室的基座

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980077518.6

申请日：

2019-11-26

公开(公告)号：

CN113166941A

公开(公告)日：

2021-07-23

发明(设计)人：

迈克尔·维蒂格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1646

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20191126
2021-07-23	公开	公开

共 50 条

[1]

用于衬底处理系统的包含蒸气室的基座 [P].

迈克尔·维蒂格 .

美国专利 :CN120366746A ,2025-07-25

[2]

用于衬底处理系统的改进的基座 [P].

克里希纳·比鲁 ;

伦纳德·许 ;

斯里沙·约吉什·劳 ;

维纳亚卡拉迪·古拉巴尔 ;

维贾伊·科塔帕利 ;

陈希同 .

美国专利 :CN119631170A ,2025-03-14

[3]

衬底处理系统的室清洁 [P].

王栋 ;

康虎 ;

郑慧峰 ;

梁德富 ;

约瑟夫·林德赛·沃马克 ;

李明 ;

孟昕 ;

罗希特·欧德 .

美国专利 :CN120981600A ,2025-11-18

[4]

用于衬底处理系统的蒸气供应源 [P].

柯蒂斯·W·贝利 ;

里格尔·马丁·布鲁宁 ;

乔治·雷耶斯 ;

阿斯温·库马尔 ;

凯文·戈伯 ;

穆罕默德雷扎·巴贝伊 ;

阿维纳什·贾斯瓦尔 ;

基莱·斯塔尔·奥德姆 ;

聂久远 .

美国专利 :CN120303441A ,2025-07-11

[5]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[6]

用于衬底处理系统的热电冷却基座 [P].

米纳尔·库马尔 ;

哈里普拉萨德·海格德 ;

维什瓦吉特·尼瑞拜鲁尔 ;

哈里什·尼拉姆雷迪 .

中国专利 :CN114127906A ,2022-03-01

[7]

衬底处理系统和用于衬底处理系统的气体充气室装置 [P].

汤姆·坎普 ;

亚瑟·萨托 ;

亚历克斯·帕特森 .

中国专利 :CN110060914B ,2019-07-26

[8]

衬底处理系统 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

美国专利 :CN114175208B ,2024-05-24

[9]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

[10]

用于衬底处理系统的损坏衬底处置设备及方法 [P].

安德里亚·巴奇尼 ;

马科·加里亚左 .

中国专利 :CN102473671A ,2012-05-23

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