用于衬底处理系统的热电冷却基座

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080051884.7

申请日：

2020-07-09

公开(公告)号：

CN114127906A

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

米纳尔·库马尔哈里普拉萨德·海格德维什瓦吉特·尼瑞拜鲁尔哈里什·尼拉姆雷迪

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L213065 H01J3732 G05D2320

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	公开	公开
2022-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200709

共 50 条

[1]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[2]

用于衬底处理系统的改进的基座 [P].

克里希纳·比鲁 ;

伦纳德·许 ;

斯里沙·约吉什·劳 ;

维纳亚卡拉迪·古拉巴尔 ;

维贾伊·科塔帕利 ;

陈希同 .

美国专利 :CN119631170A ,2025-03-14

[3]

衬底处理系统 [P].

J·T·穆拉 ;

R·T·卡夫尼 .

美国专利 :CN118661248A ,2024-09-17

[4]

衬底处理系统 [P].

金成弼 ;

金成铉 .

韩国专利 :CN121192031A ,2025-12-23

[5]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[6]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN1316572C ,2004-03-10

[7]

用于衬底处理系统的处理调整系统 [P].

贝赫扎德·拉杰瓦尔迪 ;

汤姆·特林赫 ;

威利·库 ;

哈伊·迪普 ;

爱丽斯·简哈尔 ;

黄忠河 ;

特拉维斯·约瑟夫·王 ;

约翰·小瓦尔克 .

美国专利 :CN121175633A ,2025-12-19

[8]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

[9]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[10]

衬底冷却装置及衬底处理系统 [P].

伊原龍太 ;

新田秀幸 ;

河越义典 .

中国专利 :CN102246290A ,2011-11-16

← 1 2 3 4 5 →