用于衬底处理系统的损坏衬底处置设备及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980160366.2

申请日：

2009-10-07

公开(公告)号：

CN102473671A

公开(公告)日：

2012-05-23

发明(设计)人：

安德里亚·巴奇尼马科·加里亚左

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101312911676 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2009801603662 申请日:20091007
2015-01-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101709593609 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2009801603662 申请公布日:20120523
2012-05-23	公开	公开

共 50 条

[1]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

[2]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

村元僚 ;

石井淳一 ;

西田崇之 .

日本专利 :CN114446821B ,2025-07-29

[3]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

日本专利 :CN114695184B ,2025-12-12

[4]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

中国专利 :CN114695184A ,2022-07-01

[5]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

村元僚 ;

石井淳一 ;

西田崇之 .

中国专利 :CN114446821A ,2022-05-06

[6]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[7]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[8]

衬底处理装置及衬底处理系统 [P].

墨周武 .

日本专利 :CN113205990B ,2025-05-13

[9]

衬底处理装置及衬底处理系统 [P].

墨周武 .

中国专利 :CN113205990A ,2021-08-03

[10]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

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