测试设备及测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810619055.9

申请日：

2018-06-08

公开(公告)号：

CN109585317B

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

邱当荣林鸿志王敏哲

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

顾伯兴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20180608
2019-04-05	公开	公开
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

测试设备及测试方法 [P].

王利娜 ;

崔富毅 ;

张亮 ;

王子峰 ;

刘洋 .

中国专利 :CN107219167A ,2017-09-29

[2]

测试设备及测试方法 [P].

廖友志 .

中国专利 :CN104048694B ,2014-09-17

[3]

测试设备及测试方法 [P].

杨秀江 ;

唐星 ;

肖文烨 ;

李清香 ;

葛远 .

中国专利 :CN115127842A ,2022-09-30

[4]

测试设备及测试方法 [P].

宁显章 .

中国专利 :CN118604555A ,2024-09-06

[5]

测试设备及测试方法 [P].

郑国荣 ;

董鹏 ;

江敏 ;

黄家乐 .

中国专利 :CN120897157A ,2025-11-04

[6]

测试方法及测试设备 [P].

杨小刚 ;

郭虎 ;

许博 ;

邹云夫 .

中国专利 :CN115616450A ,2023-01-17

[7]

测试设备及测试方法 [P].

单维朋 ;

李敏 ;

陈小康 ;

甘威 ;

彭小兵 ;

黎长源 ;

刘高强 ;

王志浩 .

中国专利 :CN111966077A ,2020-11-20

[8]

测试设备及测试方法 [P].

吉田敦 ;

户谷浩之 ;

西泽徹 ;

内山诚三 .

中国专利 :CN102313864B ,2012-01-11

[9]

测试方法及测试设备 [P].

邵荣防 ;

张耀杰 ;

杨娜 .

中国专利 :CN101355457B ,2009-01-28

[10]

测试设备及测试方法 [P].

陈镇星 ;

尹慧 .

中国专利 :CN117743129A ,2024-03-22

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