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一种离子注入氧化实现自对准石墨烯晶体管的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910399746.7
申请日：
2019-05-14
公开(公告)号：
CN110137075A
公开(公告)日：
2019-08-16
发明(设计)人：
吴云
曹正义
申请人：
申请人地址：
210000 江苏省南京市秦淮区永智路6号南京白下高新技术产业园区四号楼1006室
IPC主分类号：
H01L2104
IPC分类号：
代理机构：
南京理工大学专利中心 32203
代理人：
陈鹏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-11 | 授权 | 授权 |
| 2019-08-16 | 公开 | 公开 |
| 2019-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/04 申请日:20190514 |