用于FINFET晶体管的栅极堆叠件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010128538.6

申请日：

2020-02-28

公开(公告)号：

CN111755516A

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

A.佩努马特查成承训 S.克伦登宁 U.阿夫奇 I.A.扬 J.T.卡瓦利罗斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2978

IPC分类号：

H01L29423

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

付曼;姜冰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20200228
2020-10-09	公开	公开

共 50 条

[1]

堆叠晶体管的栅极互连方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P].

吴恒 ;

彭莞越 ;

卢浩然 ;

郭睿 ;

王润声 ;

黄如 .

中国专利 :CN118366928A ,2024-07-19

[2]

具有脱氧栅极堆叠件的多栅极场效应晶体管 [P].

杨育佳 ;

叶致锴 ;

柯志欣 ;

吴政宪 ;

陈亮吟 ;

于雄飞 ;

陈燕铭 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN106298540A ,2017-01-04

[3]

用于晶体管的栅极 [P].

V·H·勒 ;

A·A·夏尔马 ;

R·皮拉里塞泰 ;

G·W·杜威 ;

S·希瓦拉曼 ;

T·A·特罗尼克 ;

S·加德纳 ;

T·加尼 .

中国专利 :CN110383490A ,2019-10-25

[4]

堆叠晶体管的互连方法及堆叠晶体管 [P].

吴恒 ;

卢浩然 ;

徐子乔 ;

王润声 ;

黎明 ;

黄如 .

中国专利 :CN120322004A ,2025-07-15

[5]

用于晶体管的栅极 [P].

V·H·勒 ;

A·A·夏尔马 ;

R·皮拉里塞泰 ;

G·W·杜威 ;

S·希瓦拉曼 ;

T·A·特罗尼克 ;

S·加德纳 ;

T·加尼 .

美国专利 :CN110383490B ,2025-05-27

[6]

晶体管及其形成方法和形成晶体管的栅极堆叠件的方法 [P].

李致葳 ;

蔡昕翰 ;

黄泰维 .

中国专利 :CN119153500A ,2024-12-17

[7]

形成多栅极器件的栅极堆叠件的方法及晶体管 [P].

李致葳 ;

蔡昕翰 ;

蔡有泰 .

中国专利 :CN118983222A ,2024-11-19

[8]

晶体管器件和制备晶体管器件的栅极的方法 [P].

I·诺伊曼 ;

M·胡茨勒 ;

D·拉福雷特 ;

R·莫尼希 ;

R·西米尼克 .

中国专利 :CN113224146A ,2021-08-06

[9]

多重栅极晶体管 [P].

杨育佳 ;

杨富量 ;

胡正明 .

中国专利 :CN2751447Y ,2006-01-11

[10]

双栅极晶体管 [P].

梁中瑜 ;

甘丰源 ;

张鼎张 .

中国专利 :CN1885563A ,2006-12-27

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