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一种晶圆喷砂双供料机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111373280.7
申请日：
2021-11-19
公开(公告)号：
CN113910109A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
高波
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市昆山市周市镇东辉路8号4号房
IPC主分类号：
B24C108
IPC分类号：
B24C308
B24C312
B24C900
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24C 1/08 申请日:20211119 |