一种硅片载板传送机构

被引：0

申请号：

CN202123166812.8

申请日：

2021-12-14

公开(公告)号：

CN216719904U

公开(公告)日：

2022-06-10

发明(设计)人：

吴廷斌张学强张建伟罗银兵谢明宝

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2168 H01L3118

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

殷海霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-10	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片传送机构 [P].

刘振华 ;

李化阳 ;

任海兵 .

中国专利 :CN202905681U ,2013-04-24

[2]

一种硅片传送机构 [P].

周公庆 ;

周华 ;

刘宗刚 ;

刘赖生 ;

冷德成 ;

袁桃生 ;

宋海峰 .

中国专利 :CN222794440U ,2025-04-25

[3]

一种硅片传送机构 [P].

黄昱 ;

方荣 ;

于松 ;

洪亮 .

中国专利 :CN206003754U ,2017-03-08

[4]

一种硅片传送机构 [P].

吴磊 .

中国专利 :CN202245326U ,2012-05-30

[5]

一种硅片放置传送机构 [P].

刘宏亮 .

中国专利 :CN204384288U ,2015-06-10

[6]

一种硅片印刷传送机构 [P].

刘宏亮 .

中国专利 :CN204384524U ,2015-06-10

[7]

一种载具传送机构 [P].

邱海波 ;

付余 .

中国专利 :CN222063072U ,2024-11-26

[8]

PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室 [P].

杨宝海 ;

杨娜 ;

潘家永 ;

许伟伟 ;

宋玉超 ;

李轶军 ;

李翔 ;

李敦信 ;

李义升 .

中国专利 :CN212517147U ,2021-02-09

[9]

一种硅片收料传送机构 [P].

刘闯 ;

许慧峰 ;

张传梁 ;

张庆林 ;

张永波 ;

周平 ;

陆平 ;

粟亮 .

中国专利 :CN223432922U ,2025-10-14

[10]

一种传送机构 [P].

刘标 .

中国专利 :CN214003155U ,2021-08-20

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