电容式显微机械加工的换能器

被引：0

申请号：

CN202180012506.2

申请日：

2021-02-09

公开(公告)号：

CN115052689A

公开(公告)日：

2022-09-13

发明(设计)人：

R·巴丹罗伊弗雷德里克·兰泰里爱德华·达克鲁兹布鲁诺·海德尔

申请人：

申请人地址：

美国威斯康星州

IPC主分类号：

B06B102

IPC分类号：

A61B800

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

延美花;臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B06B 1/02 申请日:20210209
2022-09-13	公开	公开

共 50 条

[1]

电容式微机械换能器及制造所述电容式微机械换能器的方法 [P].

P·迪克森 ;

R·毛奇斯措克 ;

K·卡拉卡亚 ;

J·H·克鲁特威克 ;

B·马赛利斯 ;

M·米尔德 .

中国专利 :CN104066521A ,2014-09-24

[2]

电容性微机械加工的超声换能器 [P].

J·H·克鲁特威克 ;

P·迪克森 ;

M·米尔德 ;

E·M·L·穆纳恩 .

中国专利 :CN102159334A ,2011-08-17

[3]

制造复合微机械电容式超声换能器的微加工工艺 [P].

张培玉 ;

李妍 ;

敖天勇 ;

高尚 .

中国专利 :CN106315506A ,2017-01-11

[4]

用于电容式微机械加工的超声换能器的方法和系统 [P].

R·巴丹罗伊 .

美国专利 :CN118419848A ,2024-08-02

[5]

使用显微机械加工的超声换能器的镶嵌式阵列 [P].

K·托梅纽斯 ;

R·A·菲舍尔 ;

D·M·米尔斯 ;

R·G·沃德尼基 ;

C·R·哈扎德 ;

L·S·史密斯 .

中国专利 :CN1527414A ,2004-09-08

[6]

电容式微机械加工超声换能器（CMUT）装置及制造方法 [P].

林一帧 ;

马可·弗朗西斯科·艾米 ;

亚历山德罗·斯图尔特·萨沃亚 .

中国专利 :CN113304986A ,2021-08-27

[7]

用于在电容式显微机械加工超声换能器中提供可靠绝缘叠层的方法和系统 [P].

R·巴丹罗伊 ;

亚历山德罗·斯图尔特·萨沃亚 .

美国专利 :CN119702409A ,2025-03-28

[8]

电容式微机械换能器及其制造方法 [P].

P·迪克森 ;

R·毛奇斯措克 ;

K·卡拉卡亚 ;

J·H·克鲁特威克 ;

B·马赛利斯 ;

M·米尔德 .

中国专利 :CN104066520A ,2014-09-24

[9]

一种复合微机械电容式超声换能器 [P].

张培玉 ;

李妍 ;

敖天勇 ;

高尚 .

中国专利 :CN205949255U ,2017-02-15

[10]

静电电容式微机械超声换能器 [P].

李炳喆 ;

崔里诺 ;

李活 .

中国专利 :CN111545438B ,2020-08-18

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