制造复合微机械电容式超声换能器的微加工工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610655181.0

申请日：

2016-08-11

公开(公告)号：

CN106315506A

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

张培玉李妍敖天勇高尚

申请人：

申请人地址：

475001 河南省开封市明伦街85号

IPC主分类号：

B81C300

IPC分类号：

B06B102

代理机构：

郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104

代理人：

刘建芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702020588 IPC(主分类):B81C 3/00 专利申请号:2016106551810 申请日:20160811
2017-01-11	公开	公开
2019-04-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B81C 3/00 申请公布日:20170111

共 50 条

[1]

一种复合微机械电容式超声换能器 [P].

张培玉 ;

李妍 ;

敖天勇 ;

高尚 .

中国专利 :CN205949255U ,2017-02-15

[2]

一种电容式微机械超声换能器的工艺制造方法 [P].

高铁成 ;

张兆琦 ;

李文广 ;

胡稼伟 ;

闫梦圆 ;

宋子琛 ;

杨凯 .

中国专利 :CN113800465B ,2024-03-22

[3]

一种电容式微机械超声换能器的工艺制造方法 [P].

高铁成 ;

张兆琦 ;

李文广 ;

胡稼伟 ;

闫梦圆 ;

宋子琛 ;

杨凯 .

中国专利 :CN113800465A ,2021-12-17

[4]

电容式微机械加工超声换能器（CMUT）装置及制造方法 [P].

林一帧 ;

马可·弗朗西斯科·艾米 ;

亚历山德罗·斯图尔特·萨沃亚 .

中国专利 :CN113304986A ,2021-08-27

[5]

电容式显微机械加工的换能器 [P].

R·巴丹罗伊 ;

弗雷德里克·兰泰里 ;

爱德华·达克鲁兹 ;

布鲁诺·海德尔 .

中国专利 :CN115052689A ,2022-09-13

[6]

电容式微机械超声换能器及其制造方法 [P].

多米尼克·格罗斯 ;

西里尔·梅尼埃 ;

尼古拉斯·塞内贡 .

中国专利 :CN113316486A ,2021-08-27

[7]

电容性微机械加工的超声换能器 [P].

J·H·克鲁特威克 ;

P·迪克森 ;

M·米尔德 ;

E·M·L·穆纳恩 .

中国专利 :CN102159334A ,2011-08-17

[8]

电容式微机械换能器及制造所述电容式微机械换能器的方法 [P].

P·迪克森 ;

R·毛奇斯措克 ;

K·卡拉卡亚 ;

J·H·克鲁特威克 ;

B·马赛利斯 ;

M·米尔德 .

中国专利 :CN104066521A ,2014-09-24

[9]

静电电容式微机械超声换能器 [P].

李炳喆 ;

崔里诺 ;

李活 .

中国专利 :CN111545438B ,2020-08-18

[10]

电容式微机械超声换能器、制造方法及电气产品 [P].

庞慰 ;

牛鹏飞 .

中国专利 :CN120325511A ,2025-07-18

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