一种透明导电氧化物薄膜制备设备及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910105793.2

申请日：

2009-03-18

公开(公告)号：

CN101509126A

公开(公告)日：

2009-08-19

发明(设计)人：

王凯姚栋

申请人：

申请人地址：

518001广东省深圳市罗湖区人民南路深房广场B座24层198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1408 C23C1435 C23C1438 C23C1440

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101079708608 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009101057932 公开日:20090819
2009-08-19	公开	公开
2009-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

一种透明导电氧化物薄膜制备设备 [P].

王凯 ;

姚栋 .

中国专利 :CN201339060Y ,2009-11-04

[2]

透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

陈剑辉 ;

李锋 ;

沈燕龙 ;

赵文超 ;

李高非 ;

胡志岩 ;

熊景峰 ;

宋登元 .

中国专利 :CN103147041A ,2013-06-12

[3]

透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

刘铭全 .

中国专利 :CN119730486A ,2025-03-28

[4]

透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

崔鸽 ;

董刚强 ;

李沅民 ;

谭钦 .

中国专利 :CN111446149A ,2020-07-24

[5]

非晶透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

何永才 ;

李建淸 ;

崔鸽 ;

董刚强 ;

郁操 .

中国专利 :CN107557745A ,2018-01-09

[6]

一种氧化铟锡透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

王革 ;

李媛媛 ;

彭铮 ;

彭德香 ;

王文静 .

中国专利 :CN102544233A ,2012-07-04

[7]

一种透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

徐东 ;

徐永 ;

任昌义 .

中国专利 :CN102646759B ,2012-08-22

[8]

一种透明导电氧化物薄膜及其制备方法 [P].

刘生忠 ;

肖锋伟 ;

訾威 .

中国专利 :CN106048530A ,2016-10-26

[9]

分层透明导电氧化物薄膜 [P].

加布里埃尔·P·阿格尼欧 ;

因德雷杰特·杜塔 ;

杰安-弗朗索瓦·奥达弟 .

中国专利 :CN105408270B ,2016-03-16

[10]

复合透明导电氧化物薄膜及其制备方法 [P].

朱奕漪 ;

刘良玉 ;

刘文峰 .

中国专利 :CN105140312B ,2015-12-09

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