用于微机械部件的制造方法和微机械部件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310484562.3

申请日：

2013-10-16

公开(公告)号：

CN103723675B

公开(公告)日：

2014-04-16

发明(设计)人：

F.霍伊克 C.舍林 M.哈塔斯 B.施密特

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

梁冰;杨国治

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	公开	公开
2015-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101632904336 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2013104845623 申请日:20131016
2022-09-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20131016 授权公告日:20171229 终止日期:20211016
2017-12-29	授权	授权

共 50 条

[1]

微机械部件和用于微机械部件的制造方法 [P].

J·穆霍 ;

H·格鲁茨埃克 ;

F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ;

Z·莱什詹 ;

S·赖斯 .

中国专利 :CN105143958B ,2015-12-09

[2]

用于微机械部件的制造方法和微机械部件 [P].

S·芬克拜纳 ;

T·皮尔克 ;

C·弗里泽 .

中国专利 :CN102119118A ,2011-07-06

[3]

用于制造微机械部件的方法和微机械部件 [P].

D·哈贝雷尔 .

中国专利 :CN104843635A ,2015-08-19

[4]

微机械部件及微机械部件的制造方法 [P].

A·克尔布尔 ;

J·赖因穆特 ;

J·克拉森 .

中国专利 :CN104276540B ,2015-01-14

[5]

制造微机械部件的方法 [P].

R·丁格 ;

T·拉维内 .

中国专利 :CN101625541A ,2010-01-13

[6]

制造微机械部件的方法 [P].

R·丁格 ;

T·拉维内 .

中国专利 :CN101625542A ,2010-01-13

[7]

制造微机械部件的方法 [P].

J·基哈马基 ;

H·卡特卢斯 .

中国专利 :CN101351400B ,2009-01-21

[8]

复合微机械部件及其制造方法 [P].

P·卡森 ;

J-P·蒂埃博 .

中国专利 :CN101920928A ,2010-12-22

[9]

强化的微机械部件 [P].

R·拉波 ;

M·利普纳 ;

L·帕拉特 ;

T·科尼斯 .

中国专利 :CN101213497B ,2008-07-02

[10]

静电驱动器、微机械部件及用于静电驱动器和微机械部件的制造方法 [P].

T·皮尔克 ;

S·平特 ;

M·克吕格尔 ;

J·穆霍 ;

J·弗里茨 ;

C·弗里泽 .

中国专利 :CN102187563A ,2011-09-14

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