制造微机械部件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680019491.8

申请日：

2006-06-02

公开(公告)号：

CN101351400B

公开(公告)日：

2009-01-21

发明(设计)人：

J·基哈马基 H·卡特卢斯

申请人：

申请人地址：

芬兰埃斯波

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

温大鹏;廖凌玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-01-21	公开	公开
2013-04-24	授权	授权
2019-05-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20060602 授权公告日:20130424 终止日期:20180602
2009-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

用于微机械部件的制造方法和微机械部件 [P].

S·芬克拜纳 ;

T·皮尔克 ;

C·弗里泽 .

中国专利 :CN102119118A ,2011-07-06

[2]

微机械部件及微机械部件的制造方法 [P].

A·克尔布尔 ;

J·赖因穆特 ;

J·克拉森 .

中国专利 :CN104276540B ,2015-01-14

[3]

微机械部件和用于微机械部件的制造方法 [P].

J·穆霍 ;

H·格鲁茨埃克 ;

F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ;

Z·莱什詹 ;

S·赖斯 .

中国专利 :CN105143958B ,2015-12-09

[4]

用于微机械部件的制造方法和微机械部件 [P].

F.霍伊克 ;

C.舍林 ;

M.哈塔斯 ;

B.施密特 .

中国专利 :CN103723675B ,2014-04-16

[5]

用于制造微机械部件的方法和微机械部件 [P].

D·哈贝雷尔 .

中国专利 :CN104843635A ,2015-08-19

[6]

制造微机械部件的方法 [P].

R·丁格 ;

T·拉维内 .

中国专利 :CN101625541A ,2010-01-13

[7]

制造微机械部件的方法 [P].

R·丁格 ;

T·拉维内 .

中国专利 :CN101625542A ,2010-01-13

[8]

微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法 [P].

S·甘特奈尔 ;

B·施密德 .

中国专利 :CN104024144A ,2014-09-03

[9]

复合微机械部件及其制造方法 [P].

P·卡森 ;

J-P·蒂埃博 .

中国专利 :CN101920928A ,2010-12-22

[10]

机械部件和用于机械部件的制造方法 [P].

W·海因策尔曼 ;

M·I·阿尔迪布斯 ;

R·施特劳布 ;

S·安布鲁斯特 ;

S·平特 ;

F·N·恩吉蒙齐 ;

J·穆霍 ;

H·格鲁特杰克 ;

S·赖斯 .

中国专利 :CN103787265A ,2014-05-14

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