基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510962173.6

申请日：

2015-12-21

公开(公告)号：

CN105446087A

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

喻波姚舜金春水

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2700 G02B508 G02B110

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

王莹

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20160330
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657703553 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015109621736 申请日:20151221
2016-03-30	公开	公开

共 50 条

[1]

基于遗传算法的磁控溅射调速曲线反演方法 [P].

喻波 ;

姚舜 ;

金春水 .

中国专利 :CN105608495A ,2016-05-25

[2]

基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法 [P].

喻波 ;

姚舜 ;

金春水 .

中国专利 :CN105631193A ,2016-06-01

[3]

基于遗传算法的磁控溅射速率空间分布反演方法 [P].

喻波 ;

姚舜 ;

金春水 .

中国专利 :CN105608494A ,2016-05-25

[4]

基于遗传算法的装箱方法 [P].

廖开阳 ;

林浩锋 ;

章明珠 ;

丁婕 .

中国专利 :CN110490371A ,2019-11-22

[5]

基于遗传算法的陆源排污量反演方法 [P].

胡筱敏 ;

熊学军 .

中国专利 :CN100401308C ,2006-06-14

[6]

基于双目标遗传算法的极紫外多层膜高精度表征方法 [P].

匡尚奇 ;

王一名 ;

孙秀平 .

中国专利 :CN106990528B ,2017-07-28

[7]

基于改进遗传算法的智能小车路径规划方法 [P].

陈聪 ;

金智林 ;

戴丽萍 ;

吴文利 .

中国专利 :CN114995413A ,2022-09-02

[8]

基于改进遗传算法的智能小车路径规划方法 [P].

陈聪 ;

金智林 ;

戴丽萍 ;

吴文利 .

中国专利 :CN114995413B ,2025-05-06

[9]

基于遗传算法的天线选择方法 [P].

陆显松 ;

肖琨 .

中国专利 :CN104702323A ,2015-06-10

[10]

基于遗传算法的Codelet调度方法 [P].

裴颂文 ;

王金恺 .

中国专利 :CN106155799B ,2016-11-23

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