一种多自由度宏微混合的精密运动台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111110623.0

申请日：

2021-09-22

公开(公告)号：

CN113917796A

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

吴剑威王继尧郑健王辉李昌其赵鹏越谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;刘慧丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	公开	公开
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210922

共 50 条

[1]

一种六自由度精密运动台 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119987162A ,2025-05-13

[2]

多自由度光学精密调节台 [P].

王骏 ;

孙海璇 ;

王弼陡 ;

曾维俊 ;

王钟周 .

中国专利 :CN107870405A ,2018-04-03

[3]

多自由度光学精密调节台 [P].

王骏 ;

孙海璇 ;

王弼陡 ;

曾维俊 ;

王钟周 .

中国专利 :CN207799201U ,2018-08-31

[4]

多自由度运动平台的冲击运动装置及多自由度运动平台 [P].

何广平 ;

刘健龙 ;

孙文栋 ;

张成杰 ;

张子鑫 ;

袁俊杰 ;

章杰 .

中国专利 :CN117584108A ,2024-02-23

[5]

一种六自由度精密运动平台 [P].

张家政 ;

吴少芳 .

中国专利 :CN222945509U ,2025-06-06

[6]

一种两自由度精密运动平台 [P].

谢文龙 ;

甘金强 ;

张俊仓 ;

龙家荣 ;

邓高峰 ;

张旭东 ;

万乐进 ;

陈枫 ;

王宇 .

中国专利 :CN217947674U ,2022-12-02

[7]

一种多自由度微动台 [P].

黄锴 ;

马惠秋 .

中国专利 :CN218255013U ,2023-01-10

[8]

多自由度粗动工件台 [P].

范哲光 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN102109770B ,2011-06-29

[9]

一种二自由度宏微精密定位平台装置 [P].

邱志成 ;

姚锡森 ;

张宪民 .

中国专利 :CN210589272U ,2020-05-22

[10]

一种三自由度显微视觉精密运动台 [P].

赵茂阳 ;

向捷 .

中国专利 :CN117565005A ,2024-02-20

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