一种六自由度精密运动台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510369902.0

申请日：

2025-03-27

公开(公告)号：

CN119987162A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

申请人：

上海芯东来半导体科技有限公司

申请人地址：

201200 上海市浦东新区川沙新镇川宏路300号东3幢

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385

代理人：

张浪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250327
2025-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种六自由度精密运动平台 [P].

张家政 ;

吴少芳 .

中国专利 :CN222945509U ,2025-06-06

[2]

一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法 [P].

赵鹏越 ;

王继尧 ;

吴剑威 ;

刘江 ;

李昌其 ;

王辉 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN113917797A ,2022-01-11

[3]

一种六自由度磁悬浮运动台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

叶伟楠 ;

成荣 ;

刘召 ;

张利 ;

秦慧超 ;

赵彦坡 ;

胡清平 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN203951388U ,2014-11-19

[4]

一种六自由度磁悬浮运动台 [P].

仇盛园 ;

徐建仲 .

中国专利 :CN223309777U ,2025-09-05

[5]

一种六自由度磁悬浮运动台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

叶伟楠 ;

成荣 ;

刘召 ;

张利 ;

秦慧超 ;

赵彦坡 ;

胡清平 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103929097A ,2014-07-16

[6]

一种六自由度运动滑台 [P].

邓然 ;

李春旺 ;

王芳 .

中国专利 :CN223563844U ,2025-11-18

[7]

六自由度微动台 [P].

王天明 ;

袁志扬 ;

严天宏 .

中国专利 :CN101290476A ,2008-10-22

[8]

一种超精密六自由度运动平台 [P].

李元南 .

中国专利 :CN213420394U ,2021-06-11

[9]

一种镜片六自由度柔顺机构运动台 [P].

康霞 ;

周吉 ;

刘文静 ;

程阳洋 ;

路雨桐 ;

胡松 ;

赵立新 .

中国专利 :CN114114585A ,2022-03-01

[10]

一种多自由度宏微混合的精密运动台 [P].

吴剑威 ;

王继尧 ;

郑健 ;

王辉 ;

李昌其 ;

赵鹏越 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN113917796A ,2022-01-11

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