MEMS敏感结构、倾角传感器及其控制方法

被引：0

申请号：

CN202211055815.0

申请日：

2022-08-31

公开(公告)号：

CN115420259A

公开(公告)日：

2022-12-02

发明(设计)人：

吴东岷苑文强李永成曾中明张宝顺

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号

IPC主分类号：

G01C900

IPC分类号：

G01C902 G01B730 B81B702 B81B300

代理机构：

苏州三英知识产权代理有限公司 32412

代理人：

钱超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-02	公开	公开
2022-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 9/00 申请日:20220831

共 50 条

[1]

倾角传感器敏感头结构及其倾角获取方法 [P].

王宏伟 .

中国专利 :CN105066980A ,2015-11-18

[2]

MEMS倾角传感器 [P].

张少荃 .

中国专利 :CN304150384S ,2017-05-31

[3]

倾角传感器 [P].

林燕凌 ;

杜昭辉 ;

张奇然 .

中国专利 :CN101876545A ,2010-11-03

[4]

倾角传感器敏感头结构及其信号处理电路 [P].

王宏伟 ;

黄旭 .

中国专利 :CN204854720U ,2015-12-09

[5]

一种谐振式MEMS全量程倾角传感器 [P].

韦学勇 ;

王曙东 ;

翁寅生 ;

任娟 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN105737811A ,2016-07-06

[6]

倾角传感器及其制备方法 [P].

张薇薇 ;

吴东岷 ;

姜春宇 ;

王逸群 ;

张宝顺 ;

曾中明 .

中国专利 :CN118746279A ,2024-10-08

[7]

MEMS传感器及其敏感结构的释放方法 [P].

谢诚 ;

李佳 ;

王玮冰 .

中国专利 :CN117658052A ,2024-03-08

[8]

MEMS传感器 [P].

付齐 ;

季锋 ;

刘琛 ;

陈有鑫 ;

贺锦 .

中国专利 :CN222167060U ,2024-12-13

[9]

敏感膜、MEMS芯片和传感器 [P].

张静 ;

邱冠勋 ;

卢笛 .

中国专利 :CN120034808A ,2025-05-23

[10]

倾角传感器敏感头结构、制作工艺及其信号处理电路 [P].

王宏伟 ;

黄旭 .

中国专利 :CN104990537A ,2015-10-21

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