一种谐振式MEMS全量程倾角传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610244277.8

申请日：

2016-04-19

公开(公告)号：

CN105737811A

公开(公告)日：

2016-07-06

发明(设计)人：

韦学勇王曙东翁寅生任娟蒋庄德

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁路28号

IPC主分类号：

G01C195733

IPC分类号：

代理机构：

西安智大知识产权代理事务所 61215

代理人：

贺建斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-06	公开	公开
2019-04-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01C 19/5733 申请公布日:20160706
2016-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101672620151 IPC(主分类):G01C 19/5733 专利申请号:2016102442778 申请日:20160419

共 50 条

[1]

一种全量程多方向硅微谐振式倾角传感器 [P].

黄丽斌 ;

冉琴琴 ;

李宏生 ;

赵立业 .

中国专利 :CN107655453A ,2018-02-02

[2]

MEMS倾角传感器 [P].

张少荃 .

中国专利 :CN304150384S ,2017-05-31

[3]

MEMS敏感结构、倾角传感器及其控制方法 [P].

吴东岷 ;

苑文强 ;

李永成 ;

曾中明 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN115420259A ,2022-12-02

[4]

倾角传感器 [P].

林燕凌 ;

杜昭辉 ;

张奇然 .

中国专利 :CN101876545A ,2010-11-03

[5]

一种MEMS谐振式传感器 [P].

熊兴崟 ;

马良博 ;

邹旭东 ;

汪政 .

中国专利 :CN118758344A ,2024-10-11

[6]

一种MEMS谐振式传感器 [P].

杨贵玉 ;

杨挺 ;

韩东祥 ;

焦海龙 ;

陈家林 ;

王建 ;

尹玉刚 .

中国专利 :CN117699731A ,2024-03-15

[7]

石英谐振式MEMS磁场传感器 [P].

卞雷祥 ;

李大威 ;

文玉梅 ;

李平 .

中国专利 :CN110389307A ,2019-10-29

[8]

一种线型微纳材料扭转性能测量用MEMS谐振式扭矩传感器 [P].

韦学勇 ;

王曙东 ;

翁寅生 ;

任娟 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN106525304B ,2017-03-22

[9]

一种MEMS谐振式压力传感器 [P].

庄须叶 ;

律明琛 ;

李平华 ;

于志逾 ;

刘靖豪 .

中国专利 :CN118533330A ,2024-08-23

[10]

一种电阻式倾角传感器 [P].

李满廷 .

中国专利 :CN210862660U ,2020-06-26

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