一种全量程多方向硅微谐振式倾角传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710843382.8

申请日：

2017-09-18

公开(公告)号：

CN107655453A

公开(公告)日：

2018-02-02

发明(设计)人：

黄丽斌冉琴琴李宏生赵立业

申请人：

申请人地址：

211189 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

IPC主分类号：

G01C900

IPC分类号：

代理机构：

南京众联专利代理有限公司 32206

代理人：

叶涓涓

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01C 9/00 申请公布日:20180202
2018-02-02	公开	公开
2018-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 9/00 申请日:20170918

共 50 条

[1]

一种谐振式MEMS全量程倾角传感器 [P].

韦学勇 ;

王曙东 ;

翁寅生 ;

任娟 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN105737811A ,2016-07-06

[2]

一种新型硅微谐振式压力传感器 [P].

曹慧亮 ;

啜森慧 ;

王晓毅 ;

张帅龙 ;

周湄怡 ;

陈康富 ;

陈倩 ;

曹凯强 ;

谢会开 .

中国专利 :CN120760899A ,2025-10-10

[3]

一种谐振式硅微传感器下膜片 [P].

袁盛勇 ;

邓毅 .

中国专利 :CN214121492U ,2021-09-03

[4]

一种倾角传感器 [P].

余洁 ;

彭杰 ;

郑勇 ;

王宇航 ;

罗文文 ;

何毅 ;

余周 ;

沈琪雯 ;

薛尚铃 .

中国专利 :CN118049967A ,2024-05-17

[5]

一种CCD倾角检测传感器 [P].

薛海军 .

中国专利 :CN205957963U ,2017-02-15

[6]

一种电容式倾角传感器 [P].

李满廷 .

中国专利 :CN210862659U ,2020-06-26

[7]

一种用于全姿态测量的倾角传感器 [P].

宋高顺 ;

高宝龙 ;

郑峰 ;

任少康 ;

陈庆志 ;

田丹阳 .

中国专利 :CN118518072A ,2024-08-20

[8]

一种量程设计可变的石英谐振式力传感器 [P].

朱惠忠 ;

王喆壵 ;

冯冠平 .

中国专利 :CN1254832A ,2000-05-31

[9]

谐振式硅微传感器上膜片加工方法 [P].

张淑芬 .

中国专利 :CN106379857A ,2017-02-08

[10]

一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路 [P].

苑伟政 ;

孙小东 ;

任森 ;

王伟康 .

中国专利 :CN103592061A ,2014-02-19

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