一种晶圆切割装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322157699.X
申请日
2023-08-11
公开(公告)号
CN220362821U
公开(公告)日
2024-01-19
发明(设计)人
丁波 李铁 陈瀚 侯金松 杭海燕 谷卫东
申请人
上海微世半导体有限公司
申请人地址
201401 上海市奉贤区南桥镇沿江路752号
IPC主分类号
B28D5/02
IPC分类号
B28D7/00 B28D7/02 B28D7/04
代理机构
上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374
代理人
吴海燕
法律状态
授权
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
一种晶圆切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN204332934U ,2015-05-13
[2]
一种晶圆切割装置 [P]. 
张保根 .
中国专利 :CN213971950U ,2021-08-17
[3]
一种半导体晶圆切割装置 [P]. 
游勤兰 .
中国专利 :CN210850879U ,2020-06-26
[4]
一种晶圆切割装置 [P]. 
侯承明 ;
施宁娣 ;
薛伸伸 ;
曹海洋 .
中国专利 :CN220362812U ,2024-01-19
[5]
一种晶圆切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN104576531A ,2015-04-29
[6]
一种晶圆切割装置 [P]. 
陶为银 ;
巩铁建 ;
朱德山 .
中国专利 :CN213005966U ,2021-04-20
[7]
一种晶圆切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN204504515U ,2015-07-29
[8]
一种晶圆切割装置 [P]. 
李东兴 ;
郝咏康 ;
王克江 ;
李长城 ;
孙越 .
中国专利 :CN220548494U ,2024-03-01
[9]
一种晶圆切割装置 [P]. 
李凤丽 .
中国专利 :CN222957721U ,2025-06-10
[10]
一种晶圆切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN204322322U ,2015-05-13