高纯无氧铜旋转靶材制备方法及其制备装置、靶材和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310792971.3

申请日：

2023-06-30

公开(公告)号：

CN116851478B

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

黄杰郑巧杜支勇杨维富

申请人：

四川华芯腾科技有限责任公司

申请人地址：

637000 四川省南充市顺庆区果城路13号一号楼三楼

IPC主分类号：

B21C23/04

IPC分类号：

B21C25/02 B21C29/00 C23C14/34

代理机构：

成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214

代理人：

刘磊

法律状态：

授权

国省代码：

四川省南充市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高纯无氧铜旋转靶材管及其制备方法 [P].

王艳风 ;

李文兵 ;

赵中国 ;

孙武林 ;

温玉党 ;

满振峰 ;

高兴年 ;

肖睿兴 ;

许天善 .

中国专利 :CN119608826A ,2025-03-14

[2]

高纯铜靶材制备装置 [P].

付莹 ;

聂士博 ;

张居里 .

中国专利 :CN209652411U ,2019-11-19

[3]

大尺寸高纯铜旋转靶材的制备方法 [P].

董艳霞 ;

于丙宏 ;

王永胜 ;

张洪 ;

王宏君 ;

张健 ;

张昱 ;

尹城钧 .

中国专利 :CN111604651A ,2020-09-01

[4]

一种高纯无氧铜溅射镀膜靶材的制备方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN113529027A ,2021-10-22

[5]

一种高纯钽旋转靶材及其制备方法 [P].

原慷 ;

彭浩然 ;

张鑫 ;

颜正 ;

庞小肖 ;

许贞元 ;

卢晓亮 .

中国专利 :CN113308671A ,2021-08-27

[6]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[7]

ITiO旋转靶材及其制备方法 [P].

甘志俭 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

庄猛 ;

杨斌 .

中国专利 :CN111233440A ,2020-06-05

[8]

硅旋转靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

章晨 .

中国专利 :CN109267019A ,2019-01-25

[9]

一种高纯铜靶材制备装置 [P].

韦建敏 ;

张晓蓓 ;

张小波 .

中国专利 :CN215315441U ,2021-12-28

[10]

一种高纯铜靶材制备装置 [P].

付莹 ;

于占东 ;

张鹏 ;

张居里 ;

孙栋 ;

孙敏 .

中国专利 :CN210968226U ,2020-07-10

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