晶圆清洗方法及晶圆清洗机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410083068.4

申请日：

2024-01-19

公开(公告)号：

CN117912935A

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

周鑫孙志超李禹佟李政

申请人：

江苏京创先进电子科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687 B08B3/02 B08B3/12

代理机构：

南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297

代理人：

顾祥安

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置及晶圆清洗机 [P].

赵学彬 ;

吴仪 .

中国专利 :CN111790663A ,2020-10-20

[2]

晶圆清洗方法和晶圆清洗机 [P].

李政 ;

曹平 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN118073176A ,2024-05-24

[3]

晶圆清洗机和晶圆清洗方法 [P].

邹静 .

中国专利 :CN120319692A ,2025-07-15

[4]

晶圆清洗方法和晶圆清洗机 [P].

李政 ;

曹平 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN118073176B ,2024-07-09

[5]

半自动晶圆清洗机及晶圆清洗方法 [P].

江永 ;

顾华平 ;

熊伟 .

中国专利 :CN116936410B ,2024-04-05

[6]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[7]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[8]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

[9]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[10]

晶圆清洗机 [P].

李健 ;

张彦平 ;

黄建军 ;

李成江 ;

张明思 .

中国专利 :CN206382286U ,2017-08-08

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