一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法

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专利类型
发明
申请号
CN202010329717.6
申请日
2020-04-24
公开(公告)号
CN111510068B
公开(公告)日
2024-04-02
发明(设计)人
包杰 陈程 黄策 乔振聪 刘志锋 陈嘉 林建伟
申请人
泰州中来光电科技有限公司
申请人地址
225500 江苏省泰州市姜堰经济开发区开阳路6号
IPC主分类号
H02S50/10
IPC分类号
G01R27/08 G01R31/389
代理机构
北京金之桥知识产权代理有限公司 11137
代理人
李托弟
法律状态
授权
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法 [P]. 
包杰 ;
陈程 ;
黄策 ;
乔振聪 ;
刘志锋 ;
陈嘉 ;
林建伟 .
中国专利 :CN111510068A ,2020-08-07
[2]
一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法 [P]. 
包杰 ;
马丽敏 ;
黄策 ;
乔振聪 ;
刘志锋 ;
陈嘉 ;
林建伟 .
中国专利 :CN111403306B ,2020-07-10
[3]
探针间距校准方法、接触电阻率和界面电阻率的测试方法 [P]. 
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[4]
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蒋硕 ;
仲崇娇 ;
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[5]
一种接触电阻率和沟道迁移率的测试结构和测试方法 [P]. 
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[6]
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[7]
一种钝化接触的接触电阻测试结构的制备工艺及测试结构 [P]. 
林文杰 ;
邱开富 ;
倪文虎 ;
吴宜尚 ;
王永谦 ;
陈刚 .
中国专利 :CN114823980A ,2022-07-29
[8]
一种钝化接触的接触电阻测试结构的制备工艺及测试结构 [P]. 
林文杰 ;
邱开富 ;
倪文虎 ;
吴宜尚 ;
王永谦 ;
陈刚 .
中国专利 :CN114823980B ,2024-07-30
[9]
导电胶与金属电极的接触电阻率的测试方法 [P]. 
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[10]
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