一种钝化接触的接触电阻测试结构的制备工艺及测试结构

被引：0

申请号：

CN202210464123.5

申请日：

2022-04-29

公开(公告)号：

CN114823980A

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

林文杰邱开富倪文虎吴宜尚王永谦陈刚

申请人：

申请人地址：

322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310224 H01L2166 H01L23544

代理机构：

深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333

代理人：

张红伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	公开	公开
2022-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20220429

共 50 条

[1]

一种钝化接触的接触电阻测试结构的制备工艺及测试结构 [P].

林文杰 ;

邱开富 ;

倪文虎 ;

吴宜尚 ;

王永谦 ;

陈刚 .

中国专利 :CN114823980B ,2024-07-30

[2]

一种TOPCon钝化接触结构接触电阻的测试结构 [P].

林文杰 ;

邱开富 ;

王永谦 ;

陈刚 .

中国专利 :CN217425526U ,2022-09-13

[3]

接触电阻的测试方法 [P].

徐业 ;

殷丽 ;

齐莲莲 ;

邓陈 ;

夏锐 ;

刘振坤 ;

张学玲 .

中国专利 :CN121208446A ,2025-12-26

[4]

接触电阻的测试结构及器件电阻的测试结构 [P].

许广勤 .

中国专利 :CN205720446U ,2016-11-23

[5]

一种接触电阻的测试结构 [P].

刘英明 .

中国专利 :CN204102867U ,2015-01-14

[6]

接触电阻测试结构 [P].

李勇 .

中国专利 :CN206349362U ,2017-07-21

[7]

一种接触电阻测试设备 [P].

张建峰 ;

朱明 ;

江震 ;

陆建 .

中国专利 :CN214703781U ,2021-11-12

[8]

一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法 [P].

包杰 ;

陈程 ;

黄策 ;

乔振聪 ;

刘志锋 ;

陈嘉 ;

林建伟 .

中国专利 :CN111510068A ,2020-08-07

[9]

一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法 [P].

包杰 ;

陈程 ;

黄策 ;

乔振聪 ;

刘志锋 ;

陈嘉 ;

林建伟 .

中国专利 :CN111510068B ,2024-04-02

[10]

接触电阻的测试方法和测试结构 [P].

单文光 ;

周华阳 ;

宋永梁 .

中国专利 :CN105092976A ,2015-11-25

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