极紫外光辐射设备和用于产生极紫外光的坩锅

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321576958.6

申请日：

2023-06-20

公开(公告)号：

CN220933341U

公开(公告)日：

2024-05-10

发明(设计)人：

徐子正涂志强吕建兴温志伟曾信富林世杰

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H05G2/00

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

顾伯兴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

用于产生极紫外光辐射的方法 [P].

陈昱至 ;

余昇刚 ;

杨基 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110658692A ,2020-01-07

[2]

产生极紫外光辐射的装置 [P].

谢劼 ;

陈冠宏 ;

许峻嘉 ;

简上傑 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837209A ,2020-02-25

[3]

极紫外光辐射的光源及其产生方法、极紫外光微影系统 [P].

杨基 ;

陈思妤 ;

简上杰 ;

谢劼 ;

傅中其 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109581822A ,2019-04-05

[4]

用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备 [P].

陈昱至 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

简上傑 ;

余昇刚 ;

颜炜峻 .

中国专利 :CN110658694B ,2020-01-07

[5]

极紫外光辐射源 [P].

赖韦志 ;

张汉龙 ;

杨基 ;

简上杰 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109788623A ,2019-05-21

[6]

能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统 [P].

王骐 ;

赵永蓬 ;

徐强 .

中国专利 :CN102494765A ,2012-06-13

[7]

极紫外光辐射源装置 [P].

苏彦硕 ;

张俊霖 ;

张汉龙 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110662334A ,2020-01-07

[8]

激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法 [P].

王新兵 ;

左都罗 ;

马修泉 ;

陆培祥 .

中国专利 :CN111999989A ,2020-11-27

[9]

极紫外光辐射源的控制方法 [P].

钟仁阳 ;

谢劼 ;

简上杰 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109587918A ,2019-04-05

[10]

用于极紫外光辐射源设备的碎片收集装置 [P].

简上杰 ;

钟仁阳 ;

吴尚颖 ;

傅中其 ;

陈立锐 ;

郑博中 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN109148320A ,2019-01-04

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